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真空检漏仪优选企业
2020-06-28
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视频作者:深圳锐诚真空技术有限公司






干式真空泵

深圳锐诚真空技术有限公司座落于广东深圳,在北京、浙江设有售后办事处。深圳锐诚真空技术多年技术经验,为您解决后顾之忧,欢迎您拨打电话~~~以上就是为大家介绍的全部内容,希望对大家有所帮助。是一家专门从事各种真空应用设备制造,集研发、生产和销售于一体的民营高科技企业。主营产品:真空设备,检漏仪,微水仪,lng抽真空系统,非标真空设备,真空标准件以及真空设备的维护保养。

真空检漏仪真空检漏仪


干式真空泵主要有下列几种形式:

双圆裂片式

双圆裂片式设计和目前liu行和广泛应用的罗茨泵非常相似。真空泵的好坏决定于其机械结构和油的质量,使用真空泵时必须把它保护好。事实上,一些早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂,并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时,为了达到好的真空度,对各级的间隙有非常严格的要求。当然,这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。

三叶圆裂片式

三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同,只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。这两种设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量,在传动部分有的厂家选用两个直流马达,但这也会导致扭矩减小,重新启动的能力-下降。同双圆裂片式设计一样,三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。

组合式(罗茨+爪)

组合式(罗茨+爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率,用爪来提高在较高压力下的抽气效率。真空检漏的概念真空检漏仪真空检漏仪真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计完全相同。也有些厂家将其后一级改为星型设计,这样可以在旋转一圈中将气体分为五份,就像三圆裂片式设计可以将其分为三份。同样,在很多工艺中,组合式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。

外部压缩型螺杆式

在外部压缩型螺杆式设计中,使用一对等距螺杆。一般来讲,系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%,比前级泵的极限真空度低50%。这使得内部压缩减到xiao,同时使得气体通路短也简单。这样,气体在泵体内停留的时间也短。虽然这种设计由于减少了内部的压缩比而使得其耗电量相对较高,但在很多复杂的半导体工艺中表现出极高的稳定性。这种单级设计使得其对氮气用量的要求也非常小而且简单,这样就使得其在不同工艺中有很好的互换性。在很多清洁的工艺中甚至可以不用氮气。

内部压缩型螺杆式

除了使用一对非等距螺杆以外,内部压缩型螺杆式设计和外部压缩型螺杆式设计的基本原理非常相似。例如在双级涡旋无油真空泵中,有两个方向对应的固定涡旋盘,一个位于两个涡旋盘之间的转动涡旋盘。螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩。这种设计由于产生内部压缩而使得其耗电量降低到同多级泵相当的水平。但在很多工艺中,这种内部压缩同多级泵一样,极易造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液化。

深圳锐诚真空技术多年技术经验,为您解决后顾之忧,欢迎您拨打电话~~~


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真空泵

深圳锐诚真空技术有限公司座落于广东深圳,在北京、浙江设有售后办事处。真空泵是一种旋转式变容,真空泵须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内有较大的抽速,对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。是一家专门从事各种真空应用设备制造,集研发、生产和销售于一体的民营高科技企业。主营产品:真空设备,检漏仪,微水仪,lng抽真空系统,非标真空设备,真空标准件以及真空设备的维护保养。


干泵国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。

水环泵水环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机,称为水环式压缩机,是属于低压的压缩机,其压力范围为1~2×105Pa表压力。即Sp=Q/(P-P0)冷阱(水冷挡板)置于真空容器和泵之间,用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。水环泵初用作自吸水泵,而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医yao及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中,如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等,水环泵得到广泛的应用。由于真空应用技术的飞跃发展,水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。由于水环泵中气体压缩是等温的,故可抽除气体,此外还可抽除含尘、含水的气体,因此,水环泵应用日益增多。如图:在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入 深度)。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点,那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大,且与端面上的吸气口相通,此时气体被吸入,当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,使气体被压缩;当小腔与排气口相通时,气体便被排出泵外。



真空设备氦检漏

深圳锐诚真空技术有限公司座落于广东深圳,在北京、浙江设有售后办事处。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。是一家专门从事各种真空应用设备制造,集研发、生产和销售于一体的民营高科技企业。主营产品:真空设备,检漏仪,微水仪,lng抽真空系统,非标真空设备,真空标准件以及真空设备的维护保养。

氦分子在质谱检漏仪器高真空的环境中扩散的速度很高,用氦气作示漏气体其本底噪声低,分子质量及粘滞系数小,因而极易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体是无破坏性、无du、无危险,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。⑼当真空泵排出气体影响工作环境时,可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。将这种气体喷到接有氦质谱检漏仪(调整到仅对氦起反应的工作状态)的被检容器上,若容器某一部位有漏孔,则氦质谱检漏仪立即有所反应,从而可知漏孔所在位置及检测漏气量大小。

泄漏和密封是相对而言的,氦质谱检漏仪检测被检容器的泄漏程度的量化一般用漏率来表示,其计算方法原理如下:

漏率的定义:Q1=Δp×VΔt[1]

式中:Δp为压强的变化量;V为容器的体积;Δt为时间的变化量。

因此漏率可简单理解为:单位时间内,单位体积容器,压强的变化。




数据提供:天助网    
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