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真空检漏设备厂家行业专家在线为您服务 锐诚真空
2020-07-31
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视频作者:深圳锐诚真空技术有限公司






真空泵真空设备检漏维修

深圳锐诚真空技术有限公司座落于广东深圳,在北京、浙江设有售后办事处。是一家专门从事各种真空应用设备制造,集研发、生产和销售于一体的民营高科技企业。主营产品:真空设备,检漏仪,微水仪,lng抽真空系统,非标真空设备,真空标准件以及真空设备的维护保养。我国真空泵制造业有着悠久的历史和雄厚的基础,国产真空泵已经在各个不同领域得到应用并经过验证,有些泵还出口国外,得到国外用户的认可并受到好评,应该说我国真空泵制造业在国内外市场仍然有着巨大的发展空间。

1.2、真空检漏的分类

真空检漏可以分为两大类。一,充压检漏法;二:真空检漏法。

①充压检漏法:指在被检件内部充入一定压力的示漏物质,如果被检件上有漏孔,示漏物质从漏孔漏出,用一定的方法或仪器在被检件外部检测出漏孔漏出的示漏物质的方法。主要有升压法、听音法、气泡法等。

②真空检漏法:指将管道和检漏器的敏感元件处于真空状态,在管道的外部施加示漏物质,如果有漏孔,示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元素空间,由敏感元件检测出示漏物质的方法。主要有真空计法、静态升压法、氦质谱检漏仪法。

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干式真空泵

深圳锐诚真空技术有限公司座落于广东深圳,在北京、浙江设有售后办事处。是一家专门从事各种真空应用设备制造,集研发、生产和销售于一体的民营高科技企业。主营产品:真空设备,检漏仪,微水仪,lng抽真空系统,非标真空设备,真空标准件以及真空设备的维护保养。⑵了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。


干式真空泵主要有下列几种形式:

双圆裂片式

双圆裂片式设计和目前liu行和广泛应用的罗茨泵非常相似。真空检漏的概念真空检漏设备厂家真空检漏设备厂家真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。事实上,一些早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂,并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时,为了达到好的真空度,对各级的间隙有非常严格的要求。当然,这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。

三叶圆裂片式

三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同,只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。同样,在很多工艺中,组合式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。这两种设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量,在传动部分有的厂家选用两个直流马达,但这也会导致扭矩减小,重新启动的能力-下降。同双圆裂片式设计一样,三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。

组合式(罗茨+爪)

组合式(罗茨+爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率,用爪来提高在较高压力下的抽气效率。如果您想要了解更多氦检漏设备的知识,欢迎拨打图片上的热线联系我们。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计完全相同。也有些厂家将其后一级改为星型设计,这样可以在旋转一圈中将气体分为五份,就像三圆裂片式设计可以将其分为三份。同样,在很多工艺中,组合式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。

外部压缩型螺杆式

在外部压缩型螺杆式设计中,使用一对等距螺杆。(2)泵的传动方式真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。这使得内部压缩减到xiao,同时使得气体通路短也简单。这样,气体在泵体内停留的时间也短。虽然这种设计由于减少了内部的压缩比而使得其耗电量相对较高,但在很多复杂的半导体工艺中表现出极高的稳定性。这种单级设计使得其对氮气用量的要求也非常小而且简单,这样就使得其在不同工艺中有很好的互换性。在很多清洁的工艺中甚至可以不用氮气。

内部压缩型螺杆式

除了使用一对非等距螺杆以外,内部压缩型螺杆式设计和外部压缩型螺杆式设计的基本原理非常相似。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩。这种设计由于产生内部压缩而使得其耗电量降低到同多级泵相当的水平。但在很多工艺中,这种内部压缩同多级泵一样,极易造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液化。



旋片真空泵

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深圳锐诚真空技术有限公司座落于广东深圳,在北京、浙江设有售后办事处。②按照先高后低、先近后远的顺序依次对炉室各个点进行喷氦,针对真空自耗电弧炉而言合理的检漏路线应当依次是电极杆动密封处———观察孔玻璃处———炉头法兰———坩埚法兰———真空检测排———真空管道———真空挡板阀———大、小罗茨。是一家专门从事各种真空应用设备制造,集研发、生产和销售于一体的民营高科技企业。主营产品:真空设备,检漏仪,微水仪,lng抽真空系统,非标真空设备,真空标准件以及真空设备的维护保养。


故障分类建议把故障分为运转故障和性能故障。

运转故障可包括泵不转,泵温太高,漏油,漏水,等。

性能故障可包括极限压力、极限全压力、抽气效率、噪声、喷油,气镇性能等不达标或不能满足要求。折叠编辑本段故障判断与诊断例举1、泵不转。情况不明不能先开泵,以免加重故障。用手能盘动和不能盘动。

A、泵能盘动而不转。原因可以是联轴器故障;皮带打滑;电机接线有误;电机损坏;电源没电等。

B、不能盘动或盘起来很重的,原因可以是因为起动泵温太低,泵油粘度太高;设计制造原因的停泵返油太多。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。油位太高引起的停泵返油太多(加油太多,或有水汽在泵中凝结,或在排气管中凝结的水流回泵中);有异物在泵内(进气管中的焊渣、氧化物;旋片弹簧等泵零件的碎屑);旋片变形卡住;发生了咬合(铜套、转子、中壁、泵盖、定子、轴承)。

2、泵温太高。气缸内的气体随着活塞从右向左运动而逐渐被压缩,当气缸内气体的压强达到或稍大于一个大气压时,排气阀4被打开,将气体排到大气中,完成一个工作循环。指低级排气阀附近测得的gao油温超过使用说明书规定值。由于泵温升高会使泵油粘度大幅下降,并使用权泵油的饱和蒸汽压升高,使泵的极限压力升高和抽气效率下降;使橡胶件容易老化;热膨胀使运转的可靠性。泵温太高的原因可以是泵环境温度太高,进气温度太高,进气冷却装置失效,泵长期连续运转入中压力太高;水冷泵冷却水量不足,循环水设计效果不佳;温控水量调节阀失效等。

3、漏油。市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。可以发生在轴封,油箱与泵零部件的密封面,放油塞、油标、油孔闷头、定子部件与支座的通孔连接处,气镇阀(例如2X-8)等部位。可由密封件老化,安装不当,损坏失效,表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起。如果停泵后返油,油会进入气镇阀,不关气镇阀可能会漏油。

自制橡胶垫时,一定要用耐油橡胶,要按照原设计形状,密封面太大时压不紧会漏油。

4、漏水。可以发生在水管头,水套闷盖平面,放水孔螺塞,放水阀等处,水套钻穿,铸件缺陷,冻裂,也可能导致漏水。

5、da功率超标。可由长期连续工作入口压力太高、排气压力太高、杂物进入发生咬合、泵温太高、旋片等配合间隙太小、电压太高、泵液返入泵内太多等引起,会使电机损坏。应尽量避免在da功率附近长期连续运转。如果表面有沉积物,要定期拆开清除。

6、极限压力不过标。可由外漏、内漏、油孔堵塞、泵油质量不良或污染变质、有水汽等到可凝性物质、仪器仪表失真、泵运转不正常等引起。

外漏较多时、排气口可看白色蒸q。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动,这样主动转子轴的扭转变形小,则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变,故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。油标处有较多气泡,手在排气口上感到排气压力。低级排气阀处油面有较多气泡。功率会有所增加。这时,首先应检查气镇阀是否已关好。由于新泵出厂每台都在泵口测极限压力,所以如有外漏现象,应对泵口及管道、阀门、容器逐一检查。外轴封失效、油杯无油、油孔闷头漏气也可造成外漏。内漏可由泵内的运动间隙、排气阀等平面、排气阀的密封面、内轴封、泵盖平面、进气管、气镇阀密封件等引起磨损、腐蚀、咬合会使运转间隙加大。油孔阻塞时,打开加油孔听,泵的噪声会较轻,在油箱密封良好的情况下,如果手在排气口上有被吸的感觉,排气阀可能失效。

如果泵油清洁,长期存放未用,可开气镇阀净化泵内水汽。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。若无效,要检查仪表。若泵油发黄发白已乳化,可全开气镇,调大气镇量净化运转,必要时可在泵口放入适量气体运转,可加快净化过程。若抽入其他挥发性气体或液体,要及时换油,必要时请洗油箱。有些泵,在级间气道里会沉积泵液,为取得好的换油效果,要设法把沉积泵液排出。

极限压力是用座式压缩式shui银真空计测量的。用经校准的热偶真空计等全压力计测量时,测得值会增加。注意热偶真空计的规管要配对校准。建议备用一只同时校准的规管,以备怀疑规管污染失真时进行对比。

极限压力升高会使高真空时段的抽气效率下降,也会使极限全压力升高。可以参照上述介绍来判断、检查、处理抽气效率下降和极限全压力升高的故障。

7、噪声。泵的结构设计,电机与泵轴承的噪声,旋片等运动件是否滑畅、进油量太多、风扇、传动件产生的噪声、进气量大,开气镇运转、挡油板等泵内零件松动,安装不平等引起振动,都会影响泵的噪声。

8、喷油。防止喷油用的油盒回油孔的大小、位置、密封状况,挡油板的设计、安装,排气口部分的减雾器、挡油帽、油气分离器,油位的高低,进油量的大小,都会影响泵的喷油,泵口敞开油大气时,直联泵排气口的气流速度可以高达30M/S,吹开油面时,泵内的循环油和气流带出的油就将考验防止喷油的各项措施。工作要求:进口压强在大于6500Pa时连续工作时间,不得超过3分钟以免喷油引起泵损。

9、其他,有些泵有油泵,有油分离器,有油路上的单向阀,有消雾器,有入口过滤器(防油蒸汽返流用),有入口灰尘过滤器等部件或附件,也要进行检查。油泵失效将使泵的润滑和密封失效,消雾器失效,有可能使排气压力升高,功率加大,损坏电机,入口过滤失效可使进气阻力增大,抽速下降,抽气效率下降。直联旋片泵随着真空技术在各个应用领域的不断扩大,直联旋片泵的需求量越来越大。

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