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公司资讯
真空系统氦质谱检漏服务
2018-05-27

真空氦检漏服务

氦质谱检漏方法 根据被检漏的零件的具体情况采用不同的方法。真空容器或器件常用喷吹法、氦室法和累积法。喷吹法是用喷枪对可yi部分喷氦气,找出漏孔的位置,但效率较低;氦室法可对大容器检漏,将可yi部分用氦室罩上充入氦气,可以找到漏孔的大致范围,但漏孔位置不能精准确定。氦室法检漏效率较高。对于微小漏孔,可采用累积法,即先用氦室对可yi部分充入氦气,再将检漏仪节流阀关闭,积累一定时间,打开节流阀,观察离子流的变化。这样,检漏灵敏度可提高1~2个数量级。其他方法还有吸收法、背压法等。对于容积大、放气量大、漏率大的容器可采用反流检漏法,即将被检容器接在真空系统的扩散泵和机械泵之间,利用扩散泵的反流作用,使氦气反流到质谱室而进行检漏。

数据提供:天助网    
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